在選購全自動晶圓接觸角測量儀時可參考以下因素：

1、核心參數(shù)：

角度分辨率：優(yōu)先選擇±0.1°以內(nèi)機(jī)型，高精度需求可選±0.01°。

重復(fù)性誤差：同一樣品多次測量標(biāo)準(zhǔn)偏差應(yīng)小于±0.5°。

接觸角范圍：需覆蓋0°~180°。

2、成像系統(tǒng)：

配備高速工業(yè)相機(jī)（如500萬像素以上）與遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭，減少畸變。

幀率≥1000fps以支持動態(tài)過程捕捉。

3、功能擴(kuò)展性：

光源系統(tǒng)：可選配可調(diào)亮度/色溫光源與偏振光模式，消除反射干擾。

樣品臺：支持電動升降（行程≥50mm）、傾斜（±60°）及恒溫加熱。

自動化模塊：電動XYZ三軸位移臺實(shí)現(xiàn)多位置連續(xù)測量。

4、軟件功能：

支持圓擬合法、橢圓擬合法及Young-Laplace方程擬合等算法。

集成表面自由能計算模塊。

提供自動批處理、CSV/Excel數(shù)據(jù)導(dǎo)出及圖像存檔功能。